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手動臺階儀 JS10B

簡要描述：國產手動臺階儀 JS10B，穩定可靠的重復性測量，采用金剛石探針，無畸變的觀察樣品區，實時觀察掃描區域，突破三個核心技術，國內研發生產，便于售后服務。【支持定制臺階儀】

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廠商性質：代理商
更新時間：2024-09-23
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詳細介紹

產品描述

國產手動臺階儀JS10B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS10B提供一個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

手動臺階儀 JS10B

手動臺階儀 JS10B關鍵技術指標

裝載晶圓尺寸：150mm\200mm\300mm

臺階高度重復性：≤0.5nm(1um標準塊重復掃描30次)

臺階測量高度：≤80um

樣品平臺行程：可實現水平(X/Y)，旋轉(RZ)電動控制

單次掃描距離：≤55mm

探針壓力：0.5~50mg

探針直徑：≥2um 探針1個，≤1um 探針1個

• JS10B技術參數

手動臺階儀 JS10B

• 配套軟件介紹

手動臺階儀 JS10B

• 應用案例

測金屬片

手動臺階儀 JS10B

測電極

手動臺階儀 JS10B

測光刻膠

手動臺階儀 JS10B

測膜厚

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測標樣

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測標樣

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