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詳細介紹
產品描述
國產手動臺階儀JS10B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS10B提供一個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。
手動臺階儀 JS10B關鍵技術指標
裝載晶圓尺寸：150mm\200mm\300mm
臺階高度重復性 ：≤0.5nm(1um標準塊重復掃描30次)
臺階測量高度：≤80um
樣品平臺行程：可實現水平(X/Y)，旋轉(RZ)電動控制
單次掃描距離：≤55mm
探針壓力：0.5~50mg
探針直徑：≥2um 探針1個，≤1um 探針1個
• JS10B技術參數
• 配套軟件介紹
• 應用案例
測金屬片
測電極
測光刻膠
測膜厚
測標樣
測標樣
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