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SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統

簡要描述:SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-09-23
  • 訪  問  量:667

詳細介紹

產品描述

PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統由一個三維壓電驅動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣,可在三維納米位移臺的驅動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優于100 nm,以使待測量區域準確對準力探針。

力探針同樣由壓電驅動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、光學、加熱等模塊,該產品還可以實現包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。

• PicoFemto NI-100 SEM納米力測量系統基本技術參數表

SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統


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