半導(dǎo)體專用顯微鏡

從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測(cè)期間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測(cè)試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性。可滿足在潔凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測(cè)需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級(jí)。Axio Imager Vario已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。ISO 5級(jí)潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FED STD 209E（1992）的100級(jí)。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個(gè)顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩。