半導體專用顯微鏡

簡要描述：半導體專用顯微鏡，從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性。可滿足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。

產品型號：
廠商性質：代理商
更新時間：2024-09-23
訪問量：1556

產品咨詢聯系我們

產品分類

蔡司顯微鏡

蔡司智能數碼3D顯微鏡蔡司半導體專用顯微鏡蔡司激光共聚焦顯微鏡蔡司金相顯微鏡蔡司體視顯微鏡蔡司電子顯微鏡查看全部產品

詳細介紹

檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求

從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性。可滿足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導體生產和晶圓檢測需要在潔凈室內進行。根據DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米的顆粒數量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。

優勢

具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優勢。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。
借助硬件自動對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。

產品咨詢

上一篇：LSM 900共聚焦顯微鏡
下一篇：Smartzoom 5 自動化數碼顯微鏡

半導體專用顯微鏡

檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求

優勢

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：