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半導體專用顯微鏡

簡要描述:半導體專用顯微鏡,從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓,甚至整個平板顯示器,檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm,最大橫向樣品空間為300 mm,大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性。可滿足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-09-23
  • 訪  問  量:1535

詳細介紹

檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求

從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓,甚至整個平板顯示器,檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm,最大橫向樣品空間為300 mm,大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性??蓾M足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導體生產和晶圓檢測需要在潔凈室內進行。根據DIN EN ISO 14644-1標準,以每立方米的顆粒數量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證,并滿足5級潔凈室的應用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E(1992)的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。

優勢

蔡司 Axio Imager Vario 用于檢測大尺寸樣品的正置式顯微鏡
  • 具有兩種手動機柱和一種電動機柱(配有符合工業標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優勢。

  • Axio Imager Vario能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品,依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。

  • 借助硬件自動對焦功能,可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

  • 將Axio Imager Vario與LSM 900結合使用,能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品

  • Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證,并滿足5級潔凈室的應用要求。


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