當我們使用掃描電子顯微鏡觀察樣品時：

?  通過小視野進行聚焦和消像散，視野變暗變模糊，或是顆粒變大變朦朧

?  同一視野下，從高倍往低倍依次拍照，圖像出現一系列明顯的深色斑塊

這便是碳沉積（碳污染）。

▲圖1.常見碳污染（視野中的深色框）

本質：富含碳氧，碳碳，和碳與其它弱鍵的高分子有機物，當在電子束的作用下，游蕩在樣品表面附近的有機物弱鍵斷裂，氣體游離出去，碳沉積下來，其過程類似化學氣相沉積（CVD）。

來源：從 Vent Chamber 帶入的空氣、樣品上殘留的油污、導電碳漿銀漿導電膠帶、高分子化合物樣品本身……可以說，碳污染無處不在，而且還會隨著時間的推移與日俱增。

?  避免用手直接接觸樣品臺和樣品座（戴一次性乳膠手套操作）

?  高溫烘干導電碳漿、銀漿

?  定期用無水乙醇清潔樣品臺、樣品倉等方式方法降低碳污染的累積

?  利用 Plasma Cleaner（等離子清洗機），從微觀層面除碳污染

Plasma Cleaner（等離子清洗機）在工作時，其產生的大量等離子體可以有效地破壞聚合物表面的弱鍵，并用高活性基團取而代之，讓有機物不再有機，變成氣態碳氧化合物真空泵吸走，從源頭上消滅碳污染。

同時，適當能量的 Plasma Clean（等離子清洗）還可以在不損傷樣品表面的前提下對樣品本身進行清洗清潔，讓略有污染的樣品重現真實形貌。

▲ 圖2.鐵粉樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖淺色框為碳污染

▲ 圖3.NCM樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖中央亮區為碳污染

▲ 圖4.芯片樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖亮暗不均的方塊區為碳污染

▲ 圖4.生物切片樣品等離子清洗前（左圖）和清洗后（右圖），左圖中央深色方塊區域為碳污染

蔡司鎢燈絲掃描電子顯微鏡 EVO 系列、蔡司場發射掃描電子顯微鏡 GeminiSEM、Sigma 系列、蔡司雙束電鏡 Crossbeam 系列均可聯系我們升級 Plasma Cleaner （等離子清洗機），通過定期以高功率清洗樣品艙室，時時以合適的功率清潔樣品表面，將使每臺電鏡都恢復到高質量的工作狀態。